爱普生陀螺仪传感器的特点
让我们来看看爱普生陀螺仪传感器在每个稳定性关键点上的表现如何。
- 1. 噪音低
- 2. 温度稳定性
- 2-1. 温度范围内的偏置稳定性
- 2-2. 比例因子随温度的稳定性
- 3. 耐振动、冲击
- 3-1. 耐角速度以外的振动
- 3-2.抗冲击性
1. 噪音水平
我们测量了典型爱普生陀螺仪传感器的噪声灵敏度。下图中的数据显示,我们的陀螺仪传感器采用的双T结构在客户使用的频率中实现了0.005(°⋅s-1)/√赫兹的低噪声。

2. 温度稳定性
2-1. 温度范围内的偏置稳定性
我们测量了典型爱普生陀螺仪传感器在一定温度范围内的静态偏置(角速度为零时陀螺仪传感器的输出值)变化。由于双 T 结构进一步增强了石英晶体材料原本就良好的特性,陀螺仪传感器表现出了出色的偏置稳定性。

2-2. 比例因子随温度的稳定性
我们测量了典型的爱普生陀螺仪传感器的标度因数误差。数据如下图所示。陀螺仪传感器在温度范围内表现出出色的标度因数稳定性,因为驱动臂和传感臂可以在石英材料的同一晶面上形成,并且相同的平面表现出相同的温度特性。

3. 耐振动、冲击
3-1. 耐角速度以外的振动
当 20 至 2,000赫兹振动源施加到 X、Y 和 Z 轴时,我们测量了典型爱普生陀螺仪传感器的偏置变化(角速度为零时陀螺仪传感器的输出值)。数据如下图所示。陀螺仪传感器表现出优异的外部振动偏置稳定性。

3-2.抗冲击性
当对 X、Y 和 Z 轴施加 100 G 的冲击时,我们测量了典型的爱普生陀螺仪传感器的偏差变化(角速度为零时陀螺仪传感器的输出值)。

独特的晶体单元结构赋予爱普生陀螺仪传感器出色的外部冲击稳定性。
爱普生陀螺仪传感器之所以能表现出稳定性的五个关键,很大程度上得益于双T结构的晶体元件和我们独创的封装技术。
与普通陀螺仪传感器相比,我们的陀螺仪传感器具有高稳定性,可以帮助提高客户应用的性能,并减少所需的系统级校准次数。
爱普生振动陀螺仪传感器采用双 T 结构的石英晶体元件。
材料 | 样本结构 | |
---|---|---|
压电换能器 |
水晶 ![]() |
![]() ![]() ![]() |
硅换能器 |
硅 ![]() |
硅基微机电系统 注意:每个公司都使用不同的结构。 |
压电换能器 | |
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材料 | 样本结构 |
水晶 ![]() |
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硅换能器 | |
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材料 | 样本结构 |
硅 ![]() |
硅基微机电系统 注意:每个公司都使用不同的结构。 |
单晶石英元件的优点
- 由于可以获得具有高 Q 值的稳定振动,因此能够获得高比例因子稳定性
- 由于材料稳定,因此随着时间的推移变化很小。
- 石英的均匀性意味着光刻处理过程中具有出色的重现性和精度。
- 由于杨氏模量在工作温度范围内稳定,我们能够生产出随温度变化很小的振动系统。
双T结构的优点
- 由于可以有效利用科里奥利力,因此可以获得较高的比例因子。
- 由于石英元件可以在与石英相同的优良晶面上形成,因此温度特性良好。
- 由于驱动系统和传感系统可以分离,因此振动耦合最小,信噪比高。
- 良好的对称性可以抵抗外部振动和冲击。
爱普生陀螺仪传感器的材质和结构使其在五个关键领域均具有出色的特性。